本發明公開了一種從單晶硅或多晶硅的切割或磨削加工硅晶片過程中產生的廢砂漿制取白炭黑同時回收碳化硅粉的工藝方法，包括對預處理后的廢砂漿中加入氟化銨，使其與砂漿中的硅進行反應生成氯硅酸銨和氨氣，加水過濾得純的碳化硅;再在生成的氟硅酸氨水溶液中滴加氨水生成白炭黑和氟化銨，氟化銨經濃縮循環使用。本發明方法可以有效的利用廢砂漿中的硅制取白炭黑，同時回收碳化硅，通過氟化銨循環使用，有效地降低廢砂漿的回收和制白炭黑的成本，是一種變廢為寶的實用技術，大大減少了污水的外排，具有明顯的經濟和社會效益。