本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種基于炭黑吸收層的熱釋電紅外探測(cè)器及其制造方法，包括;制備熱釋電晶體襯底;在熱釋電晶體襯底的一側(cè)上沉積鎳鉻合金層形成上電極;在上電極上形成炭黑紅外吸收層;在熱釋電晶體襯底的與上電極相反的側(cè)上沉積鎳鉻合金層形成下電極;將下電極金屬鍵合到高熱阻抗基底上;將炭黑紅外吸收層的表面加工成納米形貌結(jié)構(gòu)，形成紅外敏感吸收層。本發(fā)明的實(shí)施例中，鎳鉻合金層和炭黑紅外吸收層的多層濾膜結(jié)構(gòu)作為該熱釋電紅外探測(cè)器的熱敏感層，具有更好的表面致密性、高的吸收系數(shù)和較小的熱損失，能夠獲取高性能熱響應(yīng)。
